Научный журнал
Современные наукоемкие технологии
ISSN 1812-7320
"Перечень" ВАК
ИФ РИНЦ = 0,899

ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМА РЕАКТИВНОГО ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ

Жалнова Е.В.
При анализе механизма травления фосфида индия в химически активной плазме необходимо отметить различную летучесть продуктов химических реакций соединений индия и фосфора. Различную летучесть имеют и соединения этих элементов с водородом, соединения которого с индием также имеют значительно меньшую летучесть, чем соединения с фосфором. Эти моменты необходимо учитывать при выборе плазмообразующего газа.

Результаты спектральных исследований процесса реактивного ионно-плазменного травления InP в углеродсодержащих плазмообразующих газах показывают, что адсорбция химически активных частиц на обрабатываемой поверхности не является лимитирующей стадией процесса травления. Стадией ограничивающей скорость травления является стадия десорбции продуктов химических реакций при травлении. Увеличить скорость удаления продуктов реакции, в связи с этим, возможно за счет термической десорбции и ионной бомбардировки обрабатываемой поверхности.

В докладе анализируются принципы физической реализации в плазмохимическом реакторе условий, при которых выполняются названные требования, в частности, влияние подогрева подложкодержателя и подача на него электрического смещения на скорость травления.


Библиографическая ссылка

Жалнова Е.В. ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМА РЕАКТИВНОГО ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ФОСФИДА ИНДИЯ // Современные наукоемкие технологии. – 2008. – № 2. – С. 111-112;
URL: https://top-technologies.ru/ru/article/view?id=23186 (дата обращения: 28.09.2021).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1.074