Научный журнал
Современные наукоемкие технологии
ISSN 1812-7320
"Перечень" ВАК
ИФ РИНЦ = 0,940

АЛГОРИТМИЗАЦИЯ РЕШЕНИЯ ОБРАТНОЙ ЗАДАЧИ ДИФРАКЦИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ НАЧАЛЬНЫХ ЗНАЧЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭТ

Спыну М.В.
В настоящее время в производстве микроэлектронных и микромеханических для снижения процента выхода годных изделий с топологией микро- и субмикрометрового диапазона широко используется встроенные тест-структур. Измерение геометрических размеров топологии встроенных периодических тест-структур методом дифрактометрии в ходе аддитивных и субтрактивных процессов позволяет судить о правильности формирования всего микрорельефа выходного изделия.

Для восстановления топологии поверхности, на которой дифрагировал известный световой пучок, необходимо решить обратную задачу дифракции, которая, в общем случае, является некорректной.

Как показано в работе, эта некорректность носит физический характер, приводящий к одинаковому распределению дифрагированного оптического излучения на нескольких топологиях с различающимися размерами. Поэтому любая информация о форме ЭТ поверхности существенно сужает класс топологий, приводящих к одному и тому же распределению дифрагировавшего света.

Возможным решением представленной проблемы является измерение геометрических размеров элементов топологии в процессе их формирования. Геометрические размеры характеризуются набором параметров высота h, угол склона α, параметр решетки b/d, определяемый отношением ширины b к периоду d. В этом случае существует возможность учитывать начальные значения параметров тест-объектов, которые априори точно известны. Так, например, если в начале процесса травления h=0, α=0, b/d=const, то можно процесс фитинга ограничить областью банка данных с этими рабочими параметрами, эту область будем называть диапазон допустимых начальных значений (ДДНЗ).

В данной работе предлагается оптимизация процесса обработки банка данных с виртуальными тест-объектами. Для снижения времени работы программного комплекса предлагается искать записи не в полном массиве данных, а в ДДНЗ. В ходе технологического процесса диапазон изменения геометрических параметров ограничен физическими принципами. В связи с этим, можно наложить ограничение на границы поиска в банке данных. Для этого предлагается использовать копии банка данных отсортированные по различным геометрическим параметрам виртуальных объектов. Используя эти копии можно сформировать текущий рабочий банк данных с виртуальными объектами, геометрические параметры которых входят в ДДНЗ. Размер полученного рабочего банка данных будет значительно меньше исходного, следовательно, сократится и время поиска искомых записей в нем.


Библиографическая ссылка

Спыну М.В. АЛГОРИТМИЗАЦИЯ РЕШЕНИЯ ОБРАТНОЙ ЗАДАЧИ ДИФРАКЦИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ НАЧАЛЬНЫХ ЗНАЧЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭТ // Современные наукоемкие технологии. – 2008. – № 2. – С. 112-113;
URL: https://top-technologies.ru/ru/article/view?id=23188 (дата обращения: 16.07.2024).

Предлагаем вашему вниманию журналы, издающиеся в издательстве «Академия Естествознания»
(Высокий импакт-фактор РИНЦ, тематика журналов охватывает все научные направления)

«Фундаментальные исследования» список ВАК ИФ РИНЦ = 1,674