В результате поиска инженерно-технических решений по созданию высокочастотного микрореле были отобраны основные конструкции таких изделий и проведен анализ механических свойств. Были смоделированы высокочастотные характеристики различных конструкций (передаточные характеристики, изоляция во СВЧ сигналу и т.д.). В ходе экспериментальных исследований разработано широкополосное микрореле СВЧ диапазона: диапазон коммутируемых частот - от 0 до 6 ГГц; напряжение срабатывания - 60В; затухание (контакты замкнуты) < 1 дБ; затухание (контакты разомкнуты) > 15дБ; КСВн < 2; масса < 0,6 г.
Конструкция разрабатываемого МЭМС СВЧ реле основана на электростатическом принципе управления и представляет собой следующее: на поликоровой подложке сформирована конструкция микрореле с консолью из золота, начальный зазор составил 2 мкм. Реле изготавлено в керамическом корпусе с планарными выводами (диаметр корпуса 5 мм), а так же в BGA корпусе с шариковыми выводами (3Х4Х1.5 мм).
Для формирования структуры микрореле и подвижной его части применялись классические технологические операции, такие как: термовакуумное, магнетронное и гальваническое нанесение слоев золота, хрома, ванадия, меди и никеля; плазмохимическое осаждение оксида и нитрида кремния; жидкостное травление структурных слоев. В работе приведено моделирование МЭМС СВЧ реле.
Библиографическая ссылка
М.И. Бичурин, Г.А. Семенов, И.А. Афиногенов, А.В. Конькин ПРИМЕНЕНИЕ МЭМС ТЕХНОЛОГИЙ ДЛЯ РАЗРАБОТКИ СВЧ МИКРОРЕЛЕ // Современные наукоемкие технологии. – 2010. – № 8. – С. 103-103;URL: https://top-technologies.ru/ru/article/view?id=25305 (дата обращения: 19.04.2024).