Scientific journal
Modern high technologies
ISSN 1812-7320
"Перечень" ВАК
ИФ РИНЦ = 0,969

1
1
Рассматривается предложенный автором универсальный критерий чувствительности интерференционных измерений. В трех предельных случаях критерий вырождается в используемые ранее критерии, а именно – резкость полос многолучевой интерференционной картины, цену интерференционных полос и предел чувствительности.

Используемые различными авторами критерии чувствительности [1-5] интерференционных измерений не согласуются между собой, а иногда попросту противоречат друг другу. В связи с быстрым развитием нанотехнологий возникла необходимость введения универсального критерия интерференционных измерений.

Для проведения исследований было выбрано несколько вариантов универсального критерия чувствительности интерференционных измерений. После их сравнительного анализа было выявлено, что только один из предложенных, названных автором сравнительной чувствительностью, вырождается в ранее использовавшиеся критерии. Было предложено оценивать не абсолютную чувствительность интерферометров, а относительную величину, причем за эталонный интерферометр предложено использовать двухлучевой интерферометр с видностью интерференционной картины, равной 1.

Здесь под видностью интерференционной картины V принималось отношение

V=(Imax - Imin)/ (Imax + Imin)

В результате проведенного теоретического исследования получен более общий, чем ранее использовавшиеся, критерий чувствительности интерференционных измерений. Коэффициент повышения чувствительности при этом равен отношению Ѕ=Ѕí/Ѕc, где Ѕí – чувствительность какого-либо вновь предлагаемого метода измерения, а Ѕc – чувствительность базового метода [6,7].